Код 8486: Машины и аппаратура для производства полупроводников и плоских дисплеев; части и принадлежности
Поиск по коду или ключевым словам
Разделы
Описание
Подгруппа охватывает литографию, осаждение (CVD/PVD), сухое травление, очистку/удаление фоторезиста, ультразвуковые процессы, а также оборудование для плоских дисплеев и специализированные системы (FIB, фотоплоттеры). Ключевые параметры: класс чистоты ISO, вакуум/газовые тракты, метроло гия, прослеживаемость компонентов. НДС: 20%.
